被測定物(OPCドラム等)面に電極を対向させて配置する時、表面電位の変化が電極に誘導電流を
流します。X1プローブはこの電流を測定し処理するシステムです。
使い方は様々ですが、例えば、透明電極を使い、その背面から光を照射することでOPCドラム表面の
電位変化を得る事ができます。
また、露光サイズを微小にする事で微小面積の電位測定に使用できます。
X1
X1を使用しているシステムは次のような物があります。
潜像プロファイル:CYNTHIA88
X-TOF測定システム:CYNTHIA72
欠陥測定システム:CYNTHIA84
仕様
誘導電流検出方式表面電位計
高速:50μmsec以下
測定面積:φ50μm〜10mm(φ10μm可)
システムにて絶対値測定可能
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